在線膜厚儀利用光的干涉原理，通過(guò)分析薄膜表面對(duì)入射光的反射與干涉信號(hào)來(lái)計(jì)算薄膜厚度。當(dāng)光線照射到薄膜表面時(shí)，一部分光會(huì)在薄膜上表面反射，另一部分透過(guò)薄膜在下表面反射，這兩束反射光相互干涉形成特定的圖案或光譜分布，儀器通過(guò)檢測(cè)這些干涉信息來(lái)確定薄膜厚度。這種方法分辨率可達(dá)納米級(jí)，適用于超薄光學(xué)鍍膜或半導(dǎo)體材料的檢測(cè)。
 

　　激光三角法：使用高精度激光位移傳感器發(fā)射束流至被測(cè)表面，利用反射光斑的位置變化準(zhǔn)確計(jì)算膜層厚度。激光照射到物體表面后，會(huì)在不同位置產(chǎn)生散射點(diǎn)，這些散射點(diǎn)的分布形態(tài)與被測(cè)物體的形狀有關(guān)，進(jìn)而可以推算出薄膜的厚度。該方法測(cè)量精度高、響應(yīng)速度快。
 

　　渦流法：主要適用于測(cè)量非磁性基底上的涂層厚度。通過(guò)在探頭中產(chǎn)生高頻交流電，進(jìn)而產(chǎn)生渦流，渦流的強(qiáng)度和相位變化與涂層的厚度有關(guān)，以此實(shí)現(xiàn)對(duì)涂層厚度的測(cè)量。
 

　　磁感應(yīng)法：適用于測(cè)量磁性基底上的非磁性涂層的厚度。儀器通過(guò)測(cè)量磁場(chǎng)強(qiáng)度的變化來(lái)確定涂層的厚度。當(dāng)探頭靠近涂層時(shí)，磁場(chǎng)線會(huì)穿過(guò)涂層并受到其厚度的影響，從而改變磁場(chǎng)強(qiáng)度。
 

　　在線膜厚儀的優(yōu)點(diǎn)：
 

　　1.實(shí)時(shí)性：能夠直接集成到生產(chǎn)線中，對(duì)薄膜厚度進(jìn)行實(shí)時(shí)、連續(xù)的測(cè)量。這使得生產(chǎn)過(guò)程中可以及時(shí)發(fā)現(xiàn)厚度異常情況，便于及時(shí)調(diào)整工藝參數(shù)，保證產(chǎn)品質(zhì)量的穩(wěn)定性，減少?gòu)U品率。
 

　　2.非接觸式測(cè)量：避免了傳統(tǒng)接觸式測(cè)量方法可能帶來(lái)的薄膜損傷和污染風(fēng)險(xiǎn)。對(duì)于一些對(duì)表面質(zhì)量要求較高的產(chǎn)品，如光學(xué)薄膜、電子薄膜等，這種非接觸式的測(cè)量方式尤為重要，能夠在不影響產(chǎn)品性能的前提下完成檢測(cè)。
 

　　3.高精度：采用傳感器與算法，具有很高的測(cè)量精度，可以準(zhǔn)確地測(cè)量出微小的厚度變化。
 

　　4.多參數(shù)靈活設(shè)置：可根據(jù)不同的應(yīng)用場(chǎng)景和測(cè)量需求，靈活設(shè)置各種參數(shù)，以實(shí)現(xiàn)測(cè)量效果，適應(yīng)多樣化的生產(chǎn)要求。
 

　　5.高效自動(dòng)化：可以實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化測(cè)量和數(shù)據(jù)采集，大大提高了生產(chǎn)效率，降低了人工勞動(dòng)強(qiáng)度。同時(shí)，測(cè)量數(shù)據(jù)可以實(shí)時(shí)傳輸?shù)娇刂葡到y(tǒng)，便于進(jìn)行統(tǒng)計(jì)分析和質(zhì)量控制。
 

　　6.安全性好：相比放射線測(cè)量方法更安全，且成本更低、容易操作。